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      SiC石墨盤

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       石墨托盤技術1)用于LED外延片加工石墨頂板;2)擋板結構內部晶片邊緣休息;3)擋板與晶片襯底到兩個層次之間的互補關系;4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構成充分循環。 功能1)較低的熱膨脹系數2)thermak導電性更好3)穩定的化學perfermance4)更好的耐蝕性5)較強的導電性 規范數量單位體積密度1.85克/立方厘米比電阻11 - 14 uΩm抗壓強度90

      1. 詳細信息

       石墨托盤

      技術
      1)用于LED外延片加工石墨頂板;
      2)擋板結構內部晶片邊緣休息;
      3)擋板與晶片襯底到兩個層次之間的互補關系;
      4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構成充分循環。

       

      功能
      1)較低的熱膨脹系數
      2)thermak導電性更好
      3)穩定的化學perfermance
      4)更好的耐蝕性
      5)較強的導電性

       

      規范
      數量單位
      體積密度1.85克/立方厘米
      比電阻11 - 14 uΩm
      抗壓強度90 mpa
      撓曲強度40 mpa
      肖氏硬度60
      灰分500 ppm
      平均粒度20 um
      膨脹系數4.5 gte
      彈性模量11平均績點


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